procedure TForm1.Button2Click(Sender: TObject);

var
  workBooks, activeBook, curr, Range : Variant;
  CellStart, CellFinish : Variant;
  sPlace : String;
  Ls : TStringList;
  i, iRec : Integer;
  Data : Variant;
begin
  XLApp := CreateOleObject('Excel.Application');
  XLApp.Visible := True;

  workBooks := XLApp.WorkBooks;
  activeBook := workBooks.Add;

  try
    Ls := TStringList.Create;

    ClientDataSet1.First;
    while not ClientDataSet1.Eof do
    begin
      sPlace := ClientDataSet1.FieldByName('Pr_MEST').AsString;
      if Ls.IndexOf(sPlace) = -1 then
      begin
        Ls.Add(sPlace);
      end;
      ClientDataSet1.Next;
    end;

    for i := 0 to Pred(Ls.Count) do
    begin
      ClientDataSet1.Filtered := False;
      ClientDataSet1.Filter := 'Pr_MEST = ' + QuotedStr(Ls.Strings[i]);
      ClientDataSet1.Filtered := True;

      Data := VarArrayCreate([1, ClientDataSet1.RecordCount, 1, 3], varVariant);

      ClientDataSet1.First;
      iRec := 0;
      while not ClientDataSet1.Eof do
      begin

        Data[iRec + 1, 1] := ClientDataSet1.FieldByName('ID_SOURCE').AsString;
        Data[iRec + 1, 2] := ClientDataSet1.FieldByName('Pr_MEST').AsString;
        Data[iRec + 1, 3] := ClientDataSet1.FieldByName('NO_ONE_FAM').AsString;
        Inc(iRec);

        ClientDataSet1.Next;
      end;

      Curr := ActiveBook.Sheets.Add;
      Curr.Name := Ls.Strings[i];
      CellStart := Curr.Cells[1, 1];
      CellFinish := Curr.Cells[iRec, 3];
      Range := Curr.Range[CellStart, CellFinish];
      Range.Value := Data;

      VarClear(Data);
    end;

  finally
    Ls.Free;
  end;
end;

Uses ..., ComObj;

var XLApp : Variant;

ClientDataSet1.Filter := 'Pr_MEST = ' + QuotedStr(Ls.Strings[i]);

const
  TemplateSheet = 'F:\Programs\Delphi\XLL\Sheet1.XLT';
  // В этом шаблоне только один лист, с шапкой которая тебе нужна

var
  XLApp : Variant;

procedure TForm1.Button2Click(Sender: TObject);

var
  workBooks, activeBook, curr, Range : Variant;
  CellStart, CellFinish : Variant;
  sPlace : String;
  Ls : TStringList;
  i, iRec : Integer;
  Data : Variant;
begin
  XLApp := CreateOleObject('Excel.Application');
  XLApp.Visible := True;
  XLApp.SheetsInNewWorkbook := 1; // Добавим не 3 (по умолчанию), а 1 лист

  workBooks := XLApp.WorkBooks;
  ActiveBook := workBooks.Add;
  Curr := ActiveBook.Sheets[1]; // Запомним добавленный лист, ниже поймешь зачем

  try
    Ls := TStringList.Create;

    // Ну, дальше все ПОЧТИ без изменений
    ClientDataSet1.First;
    while not ClientDataSet1.Eof do
    begin
      sPlace := ClientDataSet1.FieldByName('Pr_MEST').AsString;
      if Ls.IndexOf(sPlace) = -1 then
      begin
        Ls.Add(sPlace);
      end;
      ClientDataSet1.Next;
    end;

    for i := 0 to Pred(Ls.Count) do
    begin
      ClientDataSet1.Filtered := False;
      ClientDataSet1.Filter := 'Pr_MEST = ' + QuotedStr(Ls.Strings[i]);
      ClientDataSet1.Filtered := True;

      Data := VarArrayCreate([1, ClientDataSet1.RecordCount, 1, 3], varVariant);

      ClientDataSet1.First;
      iRec := 0;
      while not ClientDataSet1.Eof do
      begin

        Data[iRec + 1, 1] := ClientDataSet1.FieldByName('ID_SOURCE').AsString;
        Data[iRec + 1, 2] := ClientDataSet1.FieldByName('Pr_MEST').AsString;
        Data[iRec + 1, 3] := ClientDataSet1.FieldByName('NO_ONE_FAM').AsString;
        Inc(iRec);

        ClientDataSet1.Next;
      end;

      // А вот и изменения: добавляем новый личт из шаблона ПОСЛЕ того, что был текущим
      Curr := ActiveBook.Sheets.Add (Type := TemplateSheet, After := Curr);
      Curr.Name := Ls.Strings[i];
      CellStart := Curr.Cells[2, 1]; // Ну, и корректируем позицию вставки
      (*
            Я для пробы создал шаблон только с одной строкой, поэтому позицию начала вставки перенес
            на 1 строку ниже. Если у тебя в шаблоне 20 строк шапки - то соответственно, сделаешь

            CellStart := Curr.Cells[21, 1];

            Ну, и сдвинуть столбец тоже можно при желании...
      *)
      CellFinish := Curr.Cells[iRec + 1, 3];
      // Здесь тоже не забывай вносить изменения, одновременно с предыдущей строкой

      Range := Curr.Range[CellStart, CellFinish];
      Range.Value := Data;

      VarClear(Data);
    end;

  finally
    Ls.Free;
  end;
  ActiveBook.Sheets[1].Delete; // Помнишь первый добавленный лист? Он не нужен...
end;

      ClientDataSet1.Filtered := False;
      ClientDataSet1.Filter := 'Pr_MEST = ' + QuotedStr(Ls.Strings[i]);
      ClientDataSet1.Filtered := True;

      Curr := ActiveBook.Sheets.Add (Type := TemplateSheet, After := Curr);
      Curr.Name := Ls.Strings[i]; // <--- Эту строчку видел? Что она делает?

Range := Curr.Range[CellStart, CellFinish];

Data := VarArrayCreate([1, ClientDataSet1.RecordCount, 1, 14], varVariant); // Будет тебе место под 14 столбцов

  ActiveBook.Sheets[1].Delete; // Помнишь первый добавленный лист? Он не нужен...
  XLApp.Visible := True; // <--- Вот сюда строку из начала процедуры

ToCell := 'A3'; // Var ToCell : String;
ActiveBook.Sheets[1].Range[ToCell] := Твои_Данные; // Можешь записать и на другой лист.

ToCell := 'A21';
ActiveBook.Sheets[1].Range[ToCell].Formula := '=Sum(A1:A20)';